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QFHDS系列平面式气浮运动台应用领域
采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。
QFHDS系列平面式气浮运动台结构特点
龙门平面气浮采用瑞邦精控技术，小孔节流和多孔气浮相结合的方式，极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构，使XY轴运动结构共面，反馈传感器在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮结构，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现高速运动和快速的位置整定。
精度性能
采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec满足超精密加工或测量，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。
线缆管理
使用高质量的无尘线缆，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，更适合在洁净车间内使用。
定制化
根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质，重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。可提供抱闸功能，适合高抖动要求的应用。
规格指标
型号 | 单位 | QFHDS-300-300 | QFHDS-500-500 | QFHDS-800-800 |
轴系 | — | X | Y | X | Y | X | Y |
行程 | mm | 300 | 300 | 500 | 500 | 800 | 800 |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 |
标准值 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 |
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.1 |
标准值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.2 |
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 |
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.3 |
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1 |
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 |
标准值 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 |
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 |
标准值 | 5 |
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） |
速度 (空载) (4) | m/s | 1 |
加速度 (空载) (4) | m/s² | 5,（10, 20, 30 定制） |
负载 | kg | 50 |
注：以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，速度和加速度取决于负载大小。
